光透過性などの光学特性に優れ、高純度で、熱や放射線に強いといった特長を持つ石英ガラス。
信越石英では、ヘレウス社から導入した光学用石英ガラス製造技術と、信越グループの卓越した合成技術を活かして、高純度･高品質の光学用合成石英ガラスを提供しています。
また、ヘレウス社の光学用天然石英ガラスも取り扱っており、用途に合わせて選べる幅広い光学用石英ガラスをラインナップしています。
主な特長
- 紫外領域における高い透過性と優れたレーザー耐性
- 近赤外領域における低吸収化
- 屈折率の均質性に代表される物性の優れた均一特性
- 超高純度、低熱膨張、高耐熱性、化学的安定性など
主な用途
- 半導体及びFPD、プリント基板の製造プロセス向け露光装置用レンズ材
- レンズ、ミラー、プリズムやウィンドウなど各種光学素子向け材料
製品ラインアップ
- 光学用合成石英ガラス SUPRASIL-Pシリーズ
- 光学用無水合成石英ガラス SUPRASIL-F300
- 光学用天然石英ガラス (ヘレウス社製品)
グレード一覧
ご必要な光学特性、光透過性、レーザー耐性により10のグレードを備えております。
| 分類 | 品種名 | 特徴 |
|---|---|---|
| 合成石英ガラス | SUPRASIL-P248C | 全方向脈理フリーで、高精密な光学用途での使用に適し、幅広い波長域で優れた透過性を有する高級光学用石英ガラス。 |
| SUPRASIL-P700 | SUPRASIL-P248Cより更に優れた均一性を有し、ArFエキシマレーザー耐性を向上させています。 | |
| SUPRASIL-P710C | 可視～近赤外で優れた透過性を有し、φ600以上の大型品に対応。3方向/1方向脈理フリーを準備しています。 | |
| SUPRASIL-P20 | 1方向脈理フリーで、覗き窓やレンズ材等、一般の光学素子用に適しています。 | |
| SUPRASIL-P310C | SUPRASIL-P20より均一性に優れ、SUP-P248Cと同等の透過率特性、レーザー耐性を有します。 | |
| SUPRASIL－P210 | 光学特性はSUPRASIL-P310Cに準じ、ArFエキシマレーザー耐性を向上させています。 | |
| SUPRASIL－P30 | 高透過率を必要とする一般光学素子用に適しています。 | |
| SUPRASIL－F300 | 光ファイバ並みの赤外透過性と光学用石英ガラスの均質性を併せ持っています。 | |
| 天然石英ガラス | INFRASIL 301/302 |
精選された水晶からOH基含有量を抑えて製造された可視～近赤外向けの光学用石英ガラスです。用途に応じて3方向／1方向脈理フリーを選択いただけます。 |
| HOQ310 | 水晶を原料に電気溶融法で製造された光学用石英ガラスです。 経済性に優れ、交換頻度の高い窓用途などに適しています。 |
光学用石英ガラスに関するお問い合わせ
信越石英本社 営業部、もしくは 最寄の営業所までお願いします。
営業部
〒141-0032
東京都品川区大崎1-11-2
ゲートシティ大崎イーストタワー9階
TEL 03-6737-0225
FAX 03-5759-6101
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