製品情報
シリコン単結晶引き上げ用
石英るつぼ

シリコン単結晶引上げ用石英ガラスるつぼ「SQCシリーズ」は、CZ法によるシリコン単結晶引上げ用るつぼです。高純度シリカ原料を使用し、当社独自の方法で製造しています。

シリコン単結晶引き上げ用石英るつぼ

主な特長

  • 標準品種は、内層は合成シリカガラス製です
  • 18インチから40インチまで、各種サイズの製造が可能です
  • クリーン環境で最終洗浄、密封包装されています

主な用途

  • シリコン単結晶引き上げ用

サイズ一覧(代表値)

口径 外径 肉厚 R形状
直胴部 R部 底部 R r
18" 457.0 ± 3.0 8.5 ± 1.5 11.0 ± 2.0 10.0 ± 2.0 457 90
20" 507.0 ± 3.0 9.0 ± 2.0 13.0 ± 3.0 10.5 ± 2.5 507 100
22" 556.0 ± 3.0 10.0 ± 2.0 13.0 ± 3.0 10.5 ± 2.5 558 110
24" 607.0 ± 3.0 12.0 ± 3.0 15.5 ± 3.0 12.0 ± 3.0 610 120
28" 708.0 ± 4.0 13.0 ± 4.0 15.5 ± 4.0 13.0 ± 4.0 708 140
32" 809.0 ± 4.0 14.0 ± 5.0 23.0 ± 5.0 15.5 ± 5.0 810 160
36" 909.0 ± 5.0 15.0 ± 5.0 26.0± 5.0 17.0 ± 5.0 914 180

シリコン単結晶引き上げ用石英るつぼに関するお問い合わせ

信越石英本社 機能材料事業部までお願いします。

機能材料事業部

〒160-0023 東京都新宿区西新宿1-22-2
新宿サンエービル12階
TEL 03-3348-1913  
FAX 03-3348-4919
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