シリコン単結晶引上げ用石英るつぼ「SQCシリーズ」は、CZ法によるシリコン単結晶引上げ用るつぼです。高純度シリカ原料を使用し、当社独自の方法で製造しています。
主な特長
- 標準品種は、内層は合成シリカガラス製です
- 18インチから40インチまで、各種サイズの製造が可能です
- クリーン環境で最終洗浄、密封包装されています
主な用途
- シリコン単結晶引き上げ用
サイズ一覧（代表値）
| 口径 | 外径 | 肉厚 | R形状 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 直胴部 | R部 | 底部 | R | r | ||
| 18" | 457.0 ± 3.0 | 8.5 ± 1.5 | 11.0 ± 2.0 | 10.0 ± 2.0 | 457 | 90 |
| 20" | 507.0 ± 3.0 | 9.0 ± 2.0 | 13.0 ± 3.0 | 10.5 ± 2.5 | 507 | 100 |
| 22" | 556.0 ± 3.0 | 10.0 ± 2.0 | 13.0 ± 3.0 | 10.5 ± 2.5 | 558 | 110 |
| 24" | 607.0 ± 3.0 | 12.0 ± 3.0 | 15.5 ± 3.0 | 12.0 ± 3.0 | 610 | 120 |
| 28" | 708.0 ± 4.0 | 13.0 ± 4.0 | 15.5 ± 4.0 | 13.0 ± 4.0 | 708 | 140 |
| 32" | 809.0 ± 4.0 | 14.0 ± 5.0 | 23.0 ± 5.0 | 15.5 ± 5.0 | 810 | 160 |
| 36" | 909.0 ± 5.0 | 15.0 ± 5.0 | 26.0± 5.0 | 17.0 ± 5.0 | 914 | 180 |
シリコン単結晶引き上げ用石英るつぼに関するお問い合わせ
信越石英本社 営業部までお願いします。
営業部
〒141-0032
東京都品川区大崎1-11-2
ゲートシティ大崎イーストタワー9階
TEL 03-6737-0225
FAX 03-5759-6101
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