主な特長

• 独自のツールフリー法で製造するため、管の内外面が平滑で欠陥がありません。
• 独自の製法により、ランプに最適なサイズを提供できます。小ロット、短納期にも対応します。

主な用途

• 医療や食品分野などの殺菌用･検査用
• 各種照明･映像
• 半導体・FPD製造プロセスの露光装置用光源、洗浄用ランプ

ランプ用石英ガラスの品種

• オゾンレス石英ガラス M235、M215
  M235、M215は、特殊な酸化金属をドープし、紫外線の光透過性を制御した石英ガラスです。
  M235は235nm、M215は215nmより短波長の光透過性を50%以下に制御します。
• 合成石英ガラス SUPRASIL-F300、F310
  SUPRASIL-F300、F310は、天然石英ガラスより更に超高純度で、泡のない合成石英ガラスです。真空紫外から赤外までの透過率特性に優れています。
  SUPRASIL-F300はOH基を無くした合成石英ガラス、SUPRSIL-F310はOH基を約250ppm含有した合成石英ガラスです。
• 天然石英ガラス HERALUX-E、HLQ210、HLQ270
  HERALUX-E、HLQ210、HLQ270は電気溶融により製造したOH基の少ないタイプの天然石英ガラスです。
  HLQ270は、特殊精製処理により金属不純物（特にアルカリ金属）を除去したランプ用の高純度天然石英ガラスです。

■ SUPRASIL-F300、SUPRASIL-F310の紫外線透過率

■ M235、M382の紫外線透過率

※ サンプル厚さ 2mm
   鏡面仕上げでの透過率参考データ

製品情報

• 製品カテゴリー
  • 光学用石英ガラス
  • シリコン単結晶引き上げ用
    石英るつぼ
  • 光ファイバ用合成石英ガラス
  • Heraeus Quartzglas社製
    Fluosil プリフォーム
  • 石英ガラス加工品、
    石英ガラス加工品用材料
  • ランプ用石英ガラス
• 用途別