製品情報
半導体製造プロセス用途

半導体製造工程で使用される機械、装置、容器等は使用される工程によって耐熱性とともに化学的純度が要求されます。どのような状況下でも、半導体材料と反応したり、痕跡といえども、どんな元素も転移してはなりません。また半導体処理工程においては高純度性とともに揮発性物質の有無が重要視されます。石英ガラスはこれら全ての条件を満たすほとんど唯一の材料であり、半導体工業用途向けの石英加工品、材料、洗浄工程で使われる石英ランプ材料、石英漕の材料、露光工程等で使用される光学用石英ガラス材料、シリコン単結晶引きあげ用石英るつぼ、洗浄工程で使われるランプ材料、露光装置用光学用石英ガラスを提供しております。

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