石英ガラスとは?

石英ガラスの化学的・物理的特性

石英ガラスは、(1) 高純度である(2) 耐熱性に優れている(3) 光の透過性に優れている(4) 耐薬品性が高い(5) 均一性が高い、など多くの優れた特性をあわせ持つ材料です。

(1) 純度

純度

非常に高い純度を保有します。高集積化が進む半導体製造プロセスでは、微量の不純物を嫌い、反応管などに利用される石英ガラスには、厳しい純度が求められます。信越石英では、アルカリ金属不純物を除去した高純度透明石英ガラスをはじめ、超高純度の合成石英ガラスなど、常により高純度な製品開発を追求しています。

(2) 耐熱性

耐熱性

優れた耐熱性と極めて低い熱膨張係数を併せ持っています。半導体製造における熱処理プロセスなどの高温プロセスにおいて、炉心管やボートなど、耐熱形状安定性の高い部材として広く用いられています。また石英ガラスは非結晶であるため、極めて激しい温度変化にも耐えられます。

(3) 光透過性

光透過性

透明石英ガラスは、一般のガラス類と比べて、光透過率が紫外から赤外の全波長にわたって非常に高いという特徴があり、半導体や液晶製造で使われる露光装置用のレンズ素材や、光ファイバ用、ランプ用材料として用いられています。特に短波長の紫外領域では、他のどんなガラスより良好な透過性を示します。

(4) 耐薬品性

耐薬品性

半導体製造プロセスでは薬品も使うため、耐薬品性も求められますが、フッ酸他いくつかの限られたものを除けば侵食されません。

(5) 均一性

均一性

高い均一性が要求される露光装置用のレンズ材にも採用されています。

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