 |
石英ガラスは、非常に高い純度を持っています。高集積化が進む半導体製造プロセスでは、微量の不純物も嫌い、反応管などに利用される石英ガラスには、厳しい純度が求められます。
信越石英は、アルカリ金属不純物を除去した高純度透明石英ガラスをはじめ、次世代デバイス対応として開発した超高純度の合成石英ガラスなど、常により高純度な製品開発を追及しています。
石英ガラスは、優れた耐熱性と極めて低い熱膨張係数を併せ持っています。半導体製造における熱処理プロセスなどの高温プロセスにおいて石英ガラスは、炉心管やボートなど、耐熱形状安定性の高い部材として、広く用いられています。
透明石英ガラスは、一般のガラス類と比べて、光透過率が紫外から赤外の全波長にわたって非常に高いという特徴があり、露光装置用のレンズ素材や、光ファイバ用、ランプ用材料として用いられています。
特に短波長の紫外領域では、他のどんなガラスより良好な透過性を示します。
|