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石英ガラスは、光透過性などの光学的性質に特に優れており、また、高純度で、耐熱性や耐放射線性も高いといった特徴を併せ持つ、極めて純粋な光学材料です。 信越石英では、最先端の研究開発体制を基盤に、超高純度・高均質な合成石英ガラス「SUPRASIL-Pシリーズ」を製造、販売しております。「SUPRASIL-Pシリーズ」は、ヘレウス社より導入した光学用石英ガラス製造技術と、信越グループの持つ卓越した合成技術をベースにして国内で開発した光学用合成石英ガラスで、主に半導体製造プロセスの露光装置用レンズ材に使用されています。他にもプリズムや窓、レンズ、ミラーなど、光学材料としても適しています。 SUPRASIL-Pに加え、ヘレウス社製の光学用天然石英ガラス「HOMOSIL」、「HERASIL」、「INFRASIL」も取り扱っております。 > 製品カタログ |
■露光装置用石英ガラス
| 半導体製造プロセスの最も重要の工程の一つに露光描画工程があります。 これは、シリコンウェーハの表面に酸化膜や窒化膜を生成、感光剤を塗布したあとに、フォトマスクを使って露光し、回路パターンを焼付ける工程です。ここで使用される装置は、ステッパーと呼ばれる縮小投影型露光装置が主流ですが、装置内の心臓部とも言える縮小投影レンズ用の材料として、信越石英では、自社開発した合成石英ガラスSUPRASIL-Pシリーズを主要ステッパーメーカーに提供しています。 信越石英の光学用合成石英ガラスは、高均質で高純度、光透過性などの基礎特性の高さに加え、需要動向に先行した製品供給体制を維持し、市場で高い評価を得ております。 回路パターン微細化の進展とともに、ステッパーの光源も i線からKrFエキシマレーザー、ArFエキシマレーザーへと、その波長レベルもいっそう短波長化しています。信越石英では、常に時代の技術ニーズに合わせて品質、性能を向上させ、ステッパー用レンズ材で高いシェアを維持し続けます。 |
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■光学用石英ガラスの品種
■ 合成石英ガラス
| SUPRASIL-Pシリーズ SUPRASIL-Pシリーズは、半導体製造の露光装置用レンズ材として、i線から最先端のArF用まで、プロセスの微細化に合わせて、進化を続ける超高品質な合成石英ガラスです。いずれも天然石英ガラスのような粒状構造はなく、253.7nmの水銀灯で蛍光を発しません。 脈理の有無や光透過率、耐レーザー性などの特長により、７つのグレードを揃えています。 |
■ 天然石英ガラス
| HOMOSIL、HERASIL、 INFRASIL、 いずれも、天然の水晶を原料とするヘレウス社製の光学用石英ガラスです。純度や均一性、光透過性などの特長により、汎用の光学材料から高級品まで提供しています。 ※それぞれの品種の詳細はカタログをご参照下さい。 |
■問い合わせ先
光学用石英ガラスに関するお問い合わせは、信越石英本社第1事業部、もしくは、最寄りの営業所までお願いいたします。
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