セミコンジャパン特集






  当社は、12月3日(水)から5日(金)まで幕張メッセ(千葉市)にて開催される 『セミコンジャパン2008』に出展します。

(昨年の出展の様子)                  

  ご来場の際は、ぜひ信越ブースにお立ちよりいただき、当社の卓越した技術力とバラエティに富む 石英ガラス素材をご覧ください。また、製品についてご質問等ありましたら、お気軽にお近くの説明員にお声をおかけください。


■名称: セミコンジャパン2008
■主催: SEMI
■会期: 2008年12月3日(水)〜5日(金)  10:00〜17:00
■会場: 幕張メッセ(日本コンベンションセンター)国際展示場ホール
■公式ホームページ: http://www.semiconjapan.org/
■信越ブース: ホール8  小間番号  8D-617
    → ブース位置はリンク先をご確認下さい。

セミコンジャパン2008のご入場には、「事前入場登録」が便利です。
SEMIのWEBサイト( http://www.semiconjapan.org/ )からご登録いただけます。


※使用している写真はサンプル品のため実際の展示品とは異なる場合があります。

■不透明シリカコート石英治具

  石英ガラス微粒子のスラリーを利用して、反射膜としてのコーティング技術を開発しました。 特に赤外線を使用して温度をコントロールするSiウェーハの加熱チャンバーなどに有効ではないかと考えられます。




(不透明シリカコート石英治具)

■大口径高純度石英ガラスチューブ(パネル展示)

  当社では次世代の450mmウェーハプロセスをターゲットとした、 大口径長尺の石英ガラスチューブを製造することができます。従来のチューブの製法とは異なり、 信越石英が長年培ってきた独自の溶接技術により、石英ガラスのパーツを何枚も組み合わせて、 大口径長尺のチューブを製造しています。
■超高純度の合成石英ガラス製品(パネル展示)

  超高純度の合成石英ガラス素材であっても、製品を製造する過程で微量な汚染物が石英ガラス表面に拡散されてしまう可能性があります。 当社では、超高純度な合成石英ガラスを使用して、表層エッチングと特殊雰囲気下での 純化処理を組み合わせることで、石英ガラス製品の不純物含有量を表層を含め、 ほぼ検出限界以下のレベルまで達成することが可能です。

       上記製品の問合せ先は以下の通りです。

       信越石英株式会社 第3事業部
       〒160-0023  東京都新宿区西新宿1-22-2  新宿サンエービル12階
       (本社)  TEL 03-3348-1913  FAX 03-3348-4919


信越化学工業株式会社のWEBサイト( http://www.shinetsu.co.jp/)
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