半導体・液晶製造プロセス用石英ガラス

 
半導体・液晶製造プロセス用石英ガラス 半導体製造プロセスには、石英ガラス製品の使用が不可欠です。IC→LSI→超LSIと半導体デバイスの集積度向上に伴い、石英ガラスには、より高純度と高精度が求められています。また、300mmウェーハ時代を迎え、石英治具の大型化も進むなど、石英ガラスに対する要求も高度化しています。
信越石英は、創業当時より、半導体産業の最先端要求を満足させる製品を開発。卓越した加工技術で製造、販売しています。


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信越石英は信頼と卓越を追及する石英サプライヤー

品種のご紹介

信越石英は、透明石英では、汎用品から超高純度な合成石英品まで、また、耐熱性や耐プラズマ性の向上、パーティクル発生低減など、機能性を高めた特殊処理品。さらには、遮熱性のある不透明石英品など、ユーザーのあらゆる用途、要望に合わせた素材をフルラインナップしています。
天然石英ガラスでは、汎用性の高い電気溶融品の他に、気泡が少ない酸水素火炎溶融品があり、それぞれ、標準汎用品と高純度品を用意。純度を極限まで向上させた合成石英品は、OH基や耐熱特性により、3種類あります。

主要品種表
区分 品種 材料形状
天然石英 酸水素溶融品 HERALUX、HERALUX-LA 管、棒、板
電気溶融品 HERALUX-E、HERALUX-E-LA、HSQ330 管、棒、板
不透明品 SO-210
OM-100 (モールド成型)
合成石英 SH110、SH100、SH200 管、棒、板
各品種の特長につきましては、カタログをご参照下さい。


石英ガラス加工品

石英ガラス加工品は、図面等ユーザーの仕様に基づき、豊富な品種群の中から最適な材料を用いて製造されます。納期・仕様等につきましては、担当営業もしくは、本社第3事業部までお問い合わせ下さい。

 
炉芯管・ボート
酸化・拡散工程やCVD工程で使用される炉芯管やボートには、高純度、高耐熱性が重要視されます。特に最近では、縦型炉が中心となり、石英ガラスの品質への要求もいっそう強くなっています。
また、ウェーハサイズも300mmの採用が本格化し、更には枚葉式装置の増加など、石英ガラス製品の大型化のニーズも高まっています。
炉芯管・ボート

エッチング/アッシング工程用パーツ
ドライエッチングやプラズマCVD、アッシング工程には、枚葉式の処理装置が多く採用され、その中で使用される石英ガラス治具もチャンバーやリング、プレートなど様々な形状のものがあります。
これまで培った加工技術を駆使して製造するとともに、耐プラズマエッチング性石英ガラスの提案など、新規開発も積極的に行っています。
エッチング/アッシング工程用パーツ

洗浄工程パーツ
半導体製造プロセスには、多くの薬液処理や超純粋処理等の洗浄工程があり、これらの洗浄容器をはじめとする治具類には、汚染防止のために、石英ガラスが多く使われます。
ユーザー要望に合わせて様々な形状の製品を製作するとともに、フッ素樹脂コートなど、ユーザーの生産性を高める技術の提案も行っています。
洗浄工程パーツ

その他加工品
石英ガラス加工品の活用は、半導体・液晶製造プロセス用途に留まりません。
石英系光ファイバのガラス化・プリフォーム製造には石英バーナーや石英チューブ加工品が使用されます。また、大学・研究機関等で使用される理化学機器にも石英ガラス製のものが多くあります。
その他にも、化学、医薬、食品など多種多様な産業分野で石英ガラス加工品は使用されており、ユーザーのご要望に基づいて製造いたします。

Heraeus社製 ROTOSIL(不透明石英ガラス)
化学工業や、高温プロセス、電気設備等では不透明石英ガラスが使用されます。用途により、ベルジャー、管、るつぼなど様々な形状のものがあります。信越石英ではHeraeus社製の不透明石英ガラスROTOSILを取扱っています。


石英ガラス材料

信越石英では、加工品材料での販売も行っております。

 
信越石英 石英ガラス材料の特長 石英ガラス材料
半導体製造プロセス用石英ガラスとして国内外からの高い評価に裏付けられた高品質で寸法精度の高い材料の提供が可能です。
天然石英ガラスは、ドイツHeraeus社が安定供給する原料(シリンダー、インゴット、ブロック)を使い、国内でチューブやロッド、プレートに加工するため、短納期でのデリバリが可能です。また、合成石英ガラスは、国内で一貫生産しております。
標準サイズ品だけでなく、ユーザーの要望に合わせ、様々なサイズ対応が可能です。
品種につきましては、カタログ半導体製造プロセス用石英ガラスを、提供サイズ規格につきましては、営業までお問合せ下さい。


機能性を高める特殊処理技術

材料製造プロセスや加工工程において、特殊処理を加えることにより、機能性を高めた素材、製品を提供することが可能です。
 
SST処理 (Special Surface Treatment) SST処理
SST処理は、薬液処理によって、石英ガラスの表面に凹凸を形成する画期的な手法です。 SST処理によって得られる凹凸面は、薄膜と石英ガラスの熱膨張係数の差を緩和する効果を持っていますので、CVDプロセスで使用した場合には薄膜にマイクロクラックが生成しにくくなります。そのため、製品寿命の長期化につながるとともに、パーティクルの発生が大幅に低減されます。
SST処理した石英ガラス上の
ナイトライド膜(厚膜 10μm)です。
マイクロクラックが生成されていません。

St処理(管) St処理(管)
半導体製造プロセスの拡散工程は、一般に高温で処理されます。そのため、炉芯管に使用される石英ガラス管には、高レベルな耐熱性が要求されます。St処理は、石英ガラス管の耐熱性を向上させる熱安定化処理技術です。安定化処理とは、ガラス管外表面に結晶層を発生させるために、核形成元素Alを均一にかつ薄くドープする処理です。安定化処理したガラス管は、加熱しますと外表面にクリストバライトと呼ばれる結晶層が発生し、耐熱性が向上し、無処理の材料に比べ、長時間の使用でも変形しにくく、その製品の寿命を伸ばすことに効果があります。
St処理は、酸水素溶融品、電気溶融品それぞれに処理することが可能です。

フッ素樹脂コート加工 フッ素樹脂コート加工
フッ素樹脂コートは、石英ガラス製品の表面にフッ素樹脂(PFA)をコーティングする技術です。
Siウェーハ洗浄用のキャリアボートなどの石英ガラス治具にフッ素樹脂をコーティングすることで、洗浄時のパーティクルの発生防止や、石英ガラスとSiウェーハとの擦れを低減し、更にウェーハのエッジでの欠けの発生も防止します。また、コーティングされるフッ素樹脂は非常に高純度で、従来どおりSiウェーハを汚染する心配はありません。フッ素樹脂コート石英ガラスキャリアボートは、従来品同様、IPA乾燥機で使用することも可能です。
フッ素樹脂コートの他、ポリイミドコートも行っております。


問い合わせ先
半導体・液晶製造プロセス用石英ガラスに関するお問い合わせは、信越石英本社 加工品材料事業部、もしくは、最寄りの営業所までお願いいたします。

 
加工品材料事業部   〒160-0023 東京都新宿区西新宿1-22-2 新宿サンエービル12階
(本社) TEL 03-3348-1913 FAX 03-3348-4919

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