シリコン単結晶引上げ用半透明石英ガラスるつぼ「SQCシリーズ」は、CZ法によるシリコン単結晶引上げ用るつぼです。 高純度シリカ原料を使用し、当社独自の方法で製造しております。 ■機能と特長 内層に透明ガラス層を持つことが特徴です。 次世代の大口径シリコンウェーハ製造に対応できる40インチまで各種サイズの製造が可能です。 グレードに合わせ、内層を天然石英、合成石英とすることが可能です。 クリーンな環境で洗浄、包装されています。 > 製品カタログ ■品種のご紹介 品種 特徴 SQC-21A 高純度シリカ天然原料を使用した、天然石英ガラスるつぼです。 SQC-22P 内層に合成石英原料を使用した、高純度石英ガラスるつぼです。 天然石英ガラスるつぼよりも、長時間操業に優れています。 ■サイズ 口径が18インチから次世代大型ウェーハに対応した40インチまで、各種サイズを扱っています。 下記の代表サイズ表をご参照下さい。 ■サイズ表（代表値） （単位　：　mm）　 口径 外径 肉厚 R形状 直胴部 R部 底部 r R 18インチ 457.0±3.0 8.5±1.5 11.0±2.0 10.0±2.0 457 90 22インチ 556.0±3.0 10.0±2.0 13.0±2.5 10.5±2.5 558 110 24インチ 607.0±3.0 11.5±3.5 13.5±3.5 11.5±3.5 610 120 28インチ 708.0±3.0 13.0±4.0 15.0±4.0 13.0±4.0 708 140 32インチ 809.0±3.0 16.0±5.0 21.0±6.0 14.0±5.0 810 160 36インチ 909.0±3.0 20.0±5.0 35.0±6.0 18.0±5.0 914 180 ■問い合わせ先 石英るつぼに関するお問い合わせは、信越石英本社第2事業部、もしくは、最寄りの営業所までお願いいたします。 　 第2事業部　　 〒160-0023　東京都新宿区西新宿1-22-2　新宿サンエービル12階 （本社） TEL 03-3348-1913　FAX 03-3348-4919