シリコン単結晶引上げ用 半透明石英ガラスるつぼ-SQCシリーズ

 
るつぼ シリコン単結晶引上げ用半透明石英ガラスるつぼ「SQCシリーズ」は、CZ法によるシリコン単結晶引上げ用るつぼです。
高純度シリカ原料を使用し、当社独自の方法で製造しております。

機能と特長
  • 内層に透明ガラス層を持つことが特徴です。
  • 次世代の大口径シリコンウェーハ製造に対応できる40インチまで各種サイズの製造が可能です。
  • グレードに合わせ、内層を天然石英、合成石英とすることが可能です。
  • クリーンな環境で洗浄、包装されています。
> 製品カタログ

品種のご紹介

品種 特徴
SQC-21A 高純度シリカ天然原料を使用した、天然石英ガラスるつぼです。
SQC-22P 内層に合成石英原料を使用した、高純度石英ガラスるつぼです。
天然石英ガラスるつぼよりも、長時間操業に優れています。


サイズ
口径が18インチから次世代大型ウェーハに対応した40インチまで、各種サイズを扱っています。
下記の代表サイズ表をご参照下さい。
るつぼ

サイズ表(代表値)
(単位 : mm) 
口径 外径 肉厚 R形状
直胴部 R部 底部 r R
18インチ 457.0±3.0 8.5±1.5 11.0±2.0 10.0±2.0 457 90
22インチ 556.0±3.0 10.0±2.0 13.0±2.5 10.5±2.5 558 110
24インチ 607.0±3.0 11.5±3.5 13.5±3.5 11.5±3.5 610 120
28インチ 708.0±3.0 13.0±4.0 15.0±4.0 13.0±4.0 708 140
32インチ 809.0±3.0 16.0±5.0 21.0±6.0 14.0±5.0 810 160
36インチ 909.0±3.0 20.0±5.0 35.0±6.0 18.0±5.0 914 180

問い合わせ先
石英るつぼに関するお問い合わせは、信越石英本社 機能材料事業部、もしくは、最寄りの営業所までお願いいたします。

 
機能材料事業部   〒160-0023 東京都新宿区西新宿1-22-2 新宿サンエービル12階
(本社) TEL 03-3348-1913 FAX 03-3348-4919

-- 戻る ページの先頭へ
copyright